Cost Effective Equipment

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自1987年生產了世界上第一台用於硅片加工的半導體級台式烘烤板以來，我們經濟高效的設備一直是行業基准。Cee旋塗機和熱板通常用於光刻、電子束抗蝕劑、溶膠-凝膠、包裝粘合劑、粘合促進劑、電介質和SU-8以及光刻掩模加工的光刻膠和抗反射塗層。

在此後的幾十年中，我們的產品線擴展到包括旋轉開發和旋轉清潔系統以及晶圓冷卻板和大面積面板加工工具。2016年，在CS Mantech展會上，我們推出了一整套用於實驗室和小批量生產的臨時晶圓鍵合機和脫膠機。這些工具特別適用於化合物半導體、晶圓減薄工藝和晶圓級封裝。